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TSS-3000 EFEM

EFEM是一个晶圆前端传输设备,是一个与SEMI标准兼容的界面系统,可以手动或者配合MR或OHT的承载水平传输晶圆。该系统提供单线接口供工厂控制,充裕的传输间距与工厂交互和简单的方式供人工服务。占地面积小,采用带外部轴的双臂机械手,通过双轴复合运动实现取放片,极大的提高了传片效率的同时而又降低了产品维护成本。内部全新的气体导流结构,保证内部空间洁净度能够满足ISO Class 1级别,保证晶圆传输过程的洁净度。内部带有多重互锁保护,从软件到硬件,多重保证晶圆传输过程中的安全,人员与设备的安全。

advantages

产品优势
  • 符合SEMI标准
    整机参照SEMI进行设计,符合半导体行业标准
  • 自主研发
    大气手、aligner、SMIF、buffer等核心部件均自主研发,稳定性高
  • 尺寸多样性
    采用行业标准尺寸,内部空间布局合理,结构紧凑性强,可根据用户需求定制
  • 传输效率高
    多款大气手、aligner等部件可供选配,可配置外部轴,大气手可实现多种取放功能,传输效率高
  • 标准化程度高
    内部零部件高度标准化模块化,互换性高
  • 兼容性强
    可根据用户的实际需求进行非标定制


Application areas

产品应用领域

parameter

产品参数
  • 尺寸

    2100*750*2500mm

  • 重量

    ≤1100kg

  • 洁净等级

    class 1

  • wafer放置位置精度

    ±0.1mm

  • wafer放置角度精度

    ±0.2°

  • WPH

    ≥150

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