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真空机械手PHOENIX B系列

直驱电机结构具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带等部件,系统运行的平稳性更好,可靠性更高。全新的IO模块,具有更多的输出输入引脚,用户可以根据需求配置成互锁,传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能,方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能,减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器,方便调试人员使用,并支持热插拔功能。可以根据客户应用的特殊要求,定制手臂尺寸,Z轴行程,耐高温耐腐蚀特性等。

advantages

产品优势
  • 安全稳定可靠
    具有性能安全稳定可靠,运行平稳性好等特点
  • 多种优势
    具有高刚性、高速度、高精度等优势
  • 性价比优越
    适用于洁净领域,轻量级设计使其与产线融于一体,作业空间利用率高
  • 技术优越
    其控制技术优越,动作灵活轻巧快捷,操作持久耐用
  • 多种优良特性
    满足各类柔性化集成和生产等优良特性于一体

Application areas

产品应用领域

parameter

产品参数
  • 晶圆尺寸

    φ200、φ300mm

  • 负载重量

    ≤0.5Kg

  • R轴重复定位精度

    ±0.05mm

  • θ轴重复定位精度

    ±0.006°

  • Z轴重复定位精度

    ±0.05mm

  • R轴行程

    ≤1015mm

  • T轴行程

    360°

  • Z轴行程

    90mm/135mm

  • 真空度

    <1×10-7 Torr

  • 漏率

    <1×10-9 std.cc/sec He

  • 整机重量

    55kg

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